【摘 要】
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太赫兹滤波器在太赫兹通信和雷达系统中起着举足轻重的作用.本文采用附加传输零点的二阶波导滤波器形式,设计了一种中心频率为390GHz,相对带宽仅为2.5％的太赫兹波导滤波器
【机 构】
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电子科技大学极高频复杂系统国防重点学科实验室,四川成都611731
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太赫兹滤波器在太赫兹通信和雷达系统中起着举足轻重的作用.本文采用附加传输零点的二阶波导滤波器形式,设计了一种中心频率为390GHz,相对带宽仅为2.5％的太赫兹波导滤波器,并基于MEMS体硅工艺技术加工了太赫兹滤波器样品.对该滤波器利用矢量网络分析仪进行测试,结果表明,带内最小插损为4.5 dB,回波损耗优于17.7 dB.
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