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应用原子层外延与分子层外延的理论来研究Turbo-Disk MOCVD外延生长过程,发现这是一些分子式生长,主要发生在衬底表面的台阶处,是一种延生长线进行的生长.当通过控制生长参数达到优质外延时,它实际上是一种亚原子外延过程.
应用原子层外延技术分析Turbo-Disk MOCVD外延生长模式
【摘 要】
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应用原子层外延与分子层外延的理论来研究Turbo-Disk MOCVD外延生长过程,发现这是一些分子式生长,主要发生在衬底表面的台阶处,是一种延生长线进行的生长.当通过控制生长参数
【机 构】
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华南师范大学信息光电子学院(广州)
【出 处】
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第十届全国光电技术与系统学术会议
【发表日期】
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2003年期
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