【摘 要】
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通过对国产上反射法监控光学自动镀膜机的监控精度分析,用 TFCalc 软件计算了三腔滤光片可能的光谱性能,采用半波控制法进行监控,制作了半带宽30nm 的1.06μm三腔窄带滤光片,
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通过对国产上反射法监控光学自动镀膜机的监控精度分析,用 TFCalc 软件计算了三腔滤光片可能的光谱性能,采用半波控制法进行监控,制作了半带宽30nm 的1.06μm三腔窄带滤光片,验证了理论分析的正确性,证明采用非垂直入射监控也能得到性能较好的窄带滤光片。
By analyzing the monitoring accuracy of domestically produced reflectance monitoring optical automatic coating machine, the possible spectral performance of the three-cavity filter was calculated by TFCalc software. The half-wave control method was used for monitoring. Filter, verify the correctness of the theoretical analysis to prove that the use of non-vertical incidence monitoring can also get a better performance narrowband filter.
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