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研究流延工艺制备氧化锆薄膜坯片的制备工艺，并用XRD、SEM、AFM、EIS等对薄膜性能进行了表征。
氧化锆薄膜的制备与性能表征
【摘 要】
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研究流延工艺制备氧化锆薄膜坯片的制备工艺，并用XRD、SEM、AFM、EIS等对薄膜性能进行了表征。
【机 构】
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武汉科技大学,湖北省耐火材料与高温陶瓷重点实验室,武汉 430081
【出 处】
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第十三届全国固体薄膜学术会议
【发表日期】
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2012年期
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