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本文首次提出了基于二维泊松方程的平面结场板结构的二维表面电场解析物理模型.在该模型基础上,分析了衬底掺杂浓度、场板厚度和长度对二维表面电场分布的影响.预言的场分布与击穿电压的计算结果与先前的数值分析基本符合.该模型为场板结构的优化设计提供了理论基础.
平面结场板结构表面场分布的二维解析
【摘 要】
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本文首次提出了基于二维泊松方程的平面结场板结构的二维表面电场解析物理模型.在该模型基础上,分析了衬底掺杂浓度、场板厚度和长度对二维表面电场分布的影响.预言的场分布与击穿电压的计算结果与先前的数值分析基本符合.该模型为场板结构的优化设计提供了理论基础.
【机 构】
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北京大学微电子学研究所(北京)
【出 处】
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2000年中国博士后学术大会
【发表日期】
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2000年11期
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