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文章在简述光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了影响滤波成像光刻图形质量的因素,指出影响图形质量因素主要有滤波器的制作偏差、滤波器的放置和光刻工艺等.实验表明只有注意控制好这些因素,才能很好挖掘该技术提高光刻分辨力增大焦深波前工程技术的潜能.
影响光瞳滤波光刻图形质量的因素
【摘 要】
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文章在简述光瞳滤波技术原理与滤波器设计的基础上,详细分析研究了影响滤波成像光刻图形质量的因素,指出影响图形质量因素主要有滤波器的制作偏差、滤波器的放置和光刻工艺等.实验表明只有注意控制好这些因素,才能很好挖掘该技术提高光刻分辨力增大焦深波前工程技术的潜能.
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
【出 处】
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第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【发表日期】
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2003年2期
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