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该文介绍了一种新型的基于容栅测位原理的位移传感器及数显仪的结构、工作原理及研制过程。由于该测量原理固有的一些特性，使我们在研制时对芯片选择、定栅制作，误差补偿、标定等几方面采取措施，使其能够达到测量精定要求。该传感器成本低廉、批量生产能力强、性能稳定，可广泛地推广到机床数显、数控中。（本刊录）
容栅位移传感器及数显仪的研制
【摘 要】
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该文介绍了一种新型的基于容栅测位原理的位移传感器及数显仪的结构、工作原理及研制过程。由于该测量原理固有的一些特性，使我们在研制时对芯片选择、定栅制作，误差补偿、标定
【机 构】
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桂林电子工业学院
【出 处】
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国际机电一体化学术会议
【发表日期】
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1991年期
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