硅基太阳能电池的前电极与p层接触时产生的反向势垒会极大削弱电池的性能。与掺锡氧化铟(In2O3：Sn，ITO)相比，掺铝氧化锌(ZnO：Al，AZO)具有较高的功函数，可以降低反向势垒的作用。此外ITO与AZO形成的多层复合薄膜比单层膜具有更好的电学性能。本文利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备ITO/AZO多层复合透明导电薄膜。在保持复合薄膜总厚度不变的情况下，研究了AZO层的厚度时复合薄膜光学性能、电学性能的影响。实验结果表明随着Az0层厚度的增加，复合薄膜的在可见光范围内的透射率略有降低，电学性能测试表明复合薄膜的电阻率随着AZO厚度的增加先降低后增加。在最优情况下获得的复合薄膜电阻率与单层ITO薄膜相比降低20％。将ITO/AZO复合膜应用于非晶硅太阳能电池上，在400～550 nm范围内量子效率有显著提高。