中国真空学会2006年学术会议

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中国真空学会2006年学术会议于2006年10月21-24日在西安召开,本文是这次会议的论文摘要集,共收录论文摘要170篇。内容涉及真空科技、表面工程、薄膜科学、纳米科学与技术、电子材料与器件、等离子体技术与应用等方面,集中介绍了这些学科的最新研究进展。
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