【摘 要】
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该文以甲醇为溶剂,以醋酸铜,醋酸钇,醋酸钡为出发原料,以苯酰丙酮为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶与化学修饰法相结合的方法制备了感光性YBCO凝胶薄膜.研究了这种凝胶膜的紫外光
【机 构】
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西安理工大学材料科学与工程学院,西安,710048
【出 处】
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第九届全国超导薄膜和超导电子器件学术会议
论文部分内容阅读
该文以甲醇为溶剂,以醋酸铜,醋酸钇,醋酸钡为出发原料,以苯酰丙酮为化学修饰剂,采用溶胶-凝胶与化学修饰法相结合的方法制备了感光性YBCO凝胶薄膜.研究了这种凝胶膜的紫外光谱特性,表明这种凝胶薄膜对紫外光具有感光特性,即当紫外光照射薄膜后,与螯合物相关的吸收峰逐渐变弱,螯合物分解.随着螯合物的分解,薄膜在有机溶剂中的溶解性会发生显著变化,利用这种特性,紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜,用有机溶剂溶洗后获得凝胶薄膜的微细图形.再经过热处理,除去有机物,得到了YBCO薄膜的微细图形.
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