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采用射频磁控溅射沉积在(001)MgO和蓝宝石(1102)基片上制备CeO2薄膜.研究了基片温度、溅射气压和溅射功率等条件对的CeO2薄膜质量......
蓝宝石衬底具有出色的微波性能(较低的介电常数,较低的介电损耗),极高的熔点,并且在空气中物性极其稳定,因此是比较理想的微波应用衬底......
研究了基片温度、溅射功率对采用射频溅射沉积在(1102)蓝宝石基片上的CeO2薄膜生长的影响.过低的沉积温度、溅射功率都会导致CeO2......
报道了在蓝宝石衬底上制备CeO2缓冲层的原位双温工艺法及其对Tl2Ba2CaCu2O8(Tl-2212)薄膜超导特性的影响.XPS和AFM测试结果表明,采......