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该文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器集成的方法。该方法利用了我们开发的金属驱动流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱动单元既有驱动功能又有流量检测功能。
微流量泵驱动结构与微流量传感器一体化研究
【摘 要】
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该文介绍了一种实现微流量泵驱动结构与微流量传感器集成的方法。该方法利用了我们开发的金属驱动流量泵驱动结构的特点，在微泵双金属驱动单晶硅膜上集成制作微流量传感器，使驱
【机 构】
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大学微电子学研究所
【出 处】
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第五届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1997年期
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