硫掺杂非晶碳基薄膜的滑动摩擦学行为研究

来源 :第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:juejiang12
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  非晶碳基薄膜具有优异的物理、机械和摩擦学性能,已经被广泛地用于光学、电子和机械等领域作为摩擦学防护涂层,并且大量性能改进的非晶碳基薄膜衍生物也已经被合成和研究。然而,由于沉积方法的多样性以及结构和化学的灵活性,研究者始终在试图开发具有更加优异摩擦学性能的非晶碳基薄膜。元素掺杂是一种最为简单有效的改进碳基薄膜摩擦学性能的方法,对于新型碳基摩擦学涂层的发展具有非常重要的意义;但是对一些掺杂非晶碳基薄膜的摩擦学行为目前还没有得到充分的认识。考虑到钝化作用和可能的摩擦化学反应,本文调查了硫掺杂非晶碳基薄膜(a-C:S:H)的摩擦学行为。
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