覆盖SU-8波导层的Love波器件温度特性研究

来源 :中国声学学会第九届青年学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huojiantong
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  本文采用实验的方法,选用结合ST-90°X石英基片与SU-8波导层的Love波器件结构,研究SU-8厚度对器件温度稳定性的影响,从而获得趋于零的温度系数的器件结构参数,即优化后的Love波器件温度系数tcf仅为-4.4ppm,远小于ST-90°X石英/SiO2结构的Love波结构的温度系数(32ppm),从而明显改善了Love波器件的温度稳定性。
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