采用一次曝光制备连续面形螺旋相位板的方法

来源 :第十届全国激光技术与光电子学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jimlancer
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  提供了一种制备连续面形螺旋位相板的方法。通过将三维目标面形在一维方向上按照一定的间隔进行抽样处理,进而将获得的样条按照比例平铺在抽样空间内,获得与目标面形对应的二维掩模结构图形;利用该掩模结构在抽样方向上进行一次曝光即可获得目标面形。本文中对该抽样方法、结构参数进行了分析,并且针对该方法开展了制备技术研究,制备出了不同电荷数的螺旋相位片,并对其光学效果进行了测试。
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