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高功率調制脈冲磁控濺射高性能抗氧化TiAlSiN納米複合薄膜
【机 构】
:
大連理工大學材料科學與工程學院
【出 处】
:
2015第十一届海峡两岸薄膜科学与技术研讨会
【发表日期】
:
2015年期
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