论文部分内容阅读
用磁过滤弧法在单硅、熔凝石英以及硼硅玻璃衬底上生长了ta-C膜。用椭偏仪、XPS谱技术、以及Raman光谱技术对不同靶偏压条件下生长的ta-C膜膜进行了研究。对于硅单晶衬底上生长的ta-C膜,靶偏压在-100伏附近有最接近金刚石的折射率值。在-80伏的靶偏压下生成的ta-C膜的SP〈’3〉键的含量为78.8℅。