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振簧法和扭摆法测量薄膜的内耗和弹性模量
振簧法和扭摆法测量薄膜的内耗和弹性模量
来源 :中国声学学会2002年全国声学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sandy323199000
【摘 要】
:
本文给出了采用扭摆法和振簧法来测量薄膜样品的切变和杨氏模量及内耗的计算公式,并应用这些公式测量出了不同温度下TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗.
【作 者】
:
方前锋
李朝升
李世直
Stan Veprek
【机 构】
:
中国科学院固体物理研究所,内耗与固体缺陷重点实验室(合肥)
【出 处】
:
中国声学学会2002年全国声学学术会议
【发表日期】
:
2002年期
【关键词】
:
振簧法
扭摆法
测量
薄膜样品
内耗
杨氏模量
切变模量
计算公式
多层膜
应用
温度
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本文给出了采用扭摆法和振簧法来测量薄膜样品的切变和杨氏模量及内耗的计算公式,并应用这些公式测量出了不同温度下TiN/Ti(C,N)多层膜的切变模量和内耗.
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