【摘 要】
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极紫外(EUV)光刻技术是能够实现22nm节点及以下的下一代光刻技术中最具潜力的光刻技术之一,EUV光刻技术中所使用的光刻胶的研究具有十分重要的应用价值。本工作设计合成了多
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极紫外(EUV)光刻技术是能够实现22nm节点及以下的下一代光刻技术中最具潜力的光刻技术之一,EUV光刻技术中所使用的光刻胶的研究具有十分重要的应用价值。本工作设计合成了多种含双酚A骨架结构的分子玻璃化合物,其具有分子量小,单分散,并有较高的玻璃化转变温度等优点。将这类分子玻璃化合物与光致产酸剂、交联剂、光刻胶溶剂及其他添加剂复配,可以得到一类适用于极紫外光刻技术的正性或负性光刻胶。
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