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ＰＶＤＦ压电传感器Ｍａｓｏｎ分析模型的研究
【机 构】
：
理工大学
【出 处】
：
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1995年期
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