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集成功率电感是构建片上动态电压频率调节器并进行片上电源管理的核心器件[1]。最近IBM、Intel、Stanford等以NiFe、CoNiFe、CoZrTa等为磁芯演示了几款高性能的功率集成电感，其中IBM的研究表明：当薄膜电感的峰值品质因数大于8时，理论上其功率效率就能够大于90％[2]。