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Optical Transparency and Hardness of Diamond-like Carbon Deposited by PECVD under Different Hydrogen
【机 构】
：
Graduate School of Engineering,Nagoya University,Furo-cho,Chikusa-ku,Nagoya,Japan
【出 处】
：
The 8th Asian-European International Conference on Plasma Su
【发表日期】
：
2011年期
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