300℃铟镓锌氧化物薄膜晶体管驱动柔性电泳显示器

来源 :2014中国平板显示学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huanyingchangmaoshou
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本研究尝试于柔性塑料基板上,进行300℃铟镓锌氧化物(Indium Gallium Zinc Oxide,IGZ0)薄膜晶体管阵列与电泳显示模组制作,制备一柔性电泳显示器:此柔性显示结构为:1000(A) SiNx+1000(A) SiOx双层缓冲层/1000(A) Mo+500(A) IT0栅电极层/3000(A)Si0x栅绝缘层/1000(A) IGZ0主动层/2000(A) Si0x刻蚀阻挡层/1000(A) Mo+500(A) IT0源漏电极层/2000(A) Si0x钝化层/1000(A) ITO像素电极层.研究结果成功展示一可挠曲柔性电泳显示器,其柔性基板上之薄膜晶体管器件特性可达到与玻璃基板上之器件特生水准,证明了柔性显示产品制作之可行生.
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