磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜及其性能研究

来源 :第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12) | 被引量 : 0次 | 上传用户：li63991923

【摘要】

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采用固相反应法制备了铜锌锡硫四元化合物靶材,利用该靶材在玻璃衬底上通过射频溅射方法沉积得到了铜锌锡硫(CZTS)薄膜.利用X 射线衍射仪(XRD)对薄膜样品的结构进行了表征,采

【作者】

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张基东杨海刚宋桂林王天兴郝瑞亭常方高

【机构】

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河南师范大学物理与信息工程学院,河南省光伏重点实验室河南新乡453007云南师范大学太阳能研究所云南昆明650092

【出处】

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第12届中国光伏大会暨国际光伏展览会(CPVC12)

【发表日期】

：

2012年9期

【关键词】

：

射频磁控溅射铜锌锡硫(CZTS) 太阳能电池固相反应法

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采用固相反应法制备了铜锌锡硫四元化合物靶材,利用该靶材在玻璃衬底上通过射频溅射方法沉积得到了铜锌锡硫(CZTS)薄膜.利用X 射线衍射仪(XRD)对薄膜样品的结构进行了表征,采用紫外-可见-近红外分光光度计对薄膜样品的光学性能进行了测试分析,研究了溅射气压与退火条件对样品的晶体结构、光吸收系数和禁带宽度等性能的影响关系.

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