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InP基无源光波导器件广泛用于大规模光子集成回路,InP基阵列波导光栅作为复用/解复用器件有重要实用意义[1].我们设计并在实验室制备了用于单片集成的13通道,、中心波长1549.32nm、信道间隔200GHZ的InP基阵列波导光栅(AWG).
InP基阵列波导光栅研究
【摘 要】
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InP基无源光波导器件广泛用于大规模光子集成回路,InP基阵列波导光栅作为复用/解复用器件有重要实用意义[1].我们设计并在实验室制备了用于单片集成的13通道,、中心波长1549.32nm、信道间隔200GHZ的InP基阵列波导光栅(AWG).
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,集成光电子国家重点实验室,北京100083
【出 处】
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第13届全国MOCVD学术会议
【发表日期】
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2014年2期
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