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昆明物理研究所于2003年3月成功实现了128×128热释电焦平面探测器的成像演示,国内非制冷焦平面器件研制取得了突破性进展.本文从热释电晶片制备技术、高吸收率吸收结构设计与制作、网格化热隔离技术、铟柱制备技术和倒装互连技术及探测器组件成像演示技术等方面简要介绍了该进展.
国内热释电焦平面探测器研制新进展
【摘 要】
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昆明物理研究所于2003年3月成功实现了128×128热释电焦平面探测器的成像演示,国内非制冷焦平面器件研制取得了突破性进展.本文从热释电晶片制备技术、高吸收率吸收结构设计
【机 构】
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昆明物理研究所(昆明)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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