【摘 要】
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本文中的CO2传感器是以NASICON(Nasuperionconductor)材料为基体,以Li2CO3-BaCO3(1∶1.5)复合碳酸盐为敏感电极材料制作的管式器件.其中NASICON材料是用溶胶-凝胶法制备的,并
【机 构】
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吉林大学电子科学与工程学院,长春,130012
【出 处】
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议
论文部分内容阅读
本文中的CO2传感器是以NASICON(Nasuperionconductor)材料为基体,以Li2CO3-BaCO3(1∶1.5)复合碳酸盐为敏感电极材料制作的管式器件.其中NASICON材料是用溶胶-凝胶法制备的,并通过光电子能谱分析(XPS)、电阻率分析等手段对所得材料进行表征.制得的管式CO2传感器表现出良好的性能:CO2浓度在(500-5000)×10-6体积分数范围内,器件灵敏度可达61.5mV/decade,同时具有较好的稳定性.
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