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设计和制作了用于和PtSi CCD集成构成多光谱成像系统的一个微滤波片阵列。可见光薄膜和红外干涉薄膜分别采用射频磁控溅射和离子辅助电子束蒸发方法，并采用特殊的剥离工艺图形化条状滤波片。性能测试表明光学性能达到技术指标，环境测试表明滤光片阵列牢固耐用。
双波段成像用条形微滤波器阵列研究
【摘 要】
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设计和制作了用于和PtSi CCD集成构成多光谱成像系统的一个微滤波片阵列。可见光薄膜和红外干涉薄膜分别采用射频磁控溅射和离子辅助电子束蒸发方法，并采用特殊的剥离工艺
【机 构】
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武汉光电国家实验室,湖北 武汉 430074 华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北 武汉 430074
【出 处】
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第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会
【发表日期】
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2011年期
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