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本文给出了利用MEMS方法制作微型电感的初步研究结果.在分析了影响平面螺旋线圈电感值的主要因素,计算了几种不同几何参数下平面螺旋线圈的电感值后,给出了一种新型的微机械平面电感设计方案.
用于无线通信的微机械电感研究
【摘 要】
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本文给出了利用MEMS方法制作微型电感的初步研究结果.在分析了影响平面螺旋线圈电感值的主要因素,计算了几种不同几何参数下平面螺旋线圈的电感值后,给出了一种新型的微机械
【机 构】
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清华大学微电子学研究所(北京)
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年期
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