【摘 要】
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本实验通过双槽电化学腐蚀法生长多孔硅(PS),采用浸渍沉积法分别制备纳米Cu、Ag、Zn／多孔硅复合气敏薄膜,进而制成电阻式气体传感器,分别对其进行气敏性能测试。研究结果
【机 构】
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昆明理工大学真空冶金国家工程实验室,云南 昆明 650093 昆明理工大学云南省高校硅冶金与硅材料工程研究中心,云南 昆明 650093
【出 处】
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2012年全国冶金物理化学学术会议
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本实验通过双槽电化学腐蚀法生长多孔硅(PS),采用浸渍沉积法分别制备纳米Cu、Ag、Zn／多孔硅复合气敏薄膜,进而制成电阻式气体传感器,分别对其进行气敏性能测试。研究结果表明,Cu／多孔硅元件对甲醛、氨气、乙醇三种气体都敏感,灵敏度较好,但选择性很差；Ag/多孔硅元件对甲醛气体很灵敏且对其它两种气体都有不敏感,表现出良好的选择性：Zn／多孔硅敏感性较差,对甲醛和乙醇都不敏感,对氨水有一定的敏感性。
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