MOCVD技术在MgO衬底上生长非极性ZnMgO薄膜

来源 :第五届届全国氧化锌学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:txluoyang
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  Non-polar ZnMgO thin film was successfully prepared on MgO (100) substrate by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) at an appropriate growth condition.According to X-ray diffraction analysis, ZnMgO thin film exhibits non-polar m-plane orientation.As a contrast,polar ZnMgO thin film, which was also prepared on MgO (100), shows c-axis orientation.
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