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采用直流反应磁控溅射的方法,溅射高纯钛靶在玻璃衬底上制备了TiO2薄膜。在室温下用荧光分光光度计测量TiO2薄膜的光致发光谱。试验结果表明:在336 nm附近的发光峰是由于光诱导的电子空穴对的垂直辐射复合;在370 nm附近的发光带是来源于能带之间的辐射复合;在430 nm附近的发光带是由表面态捕获的电子空穴对的激发引起的;在470 nm附近的发光峰是在光声子参与下通过氧缺陷捕获的激子的简接复合引起的;在535 nm附近的发光峰来源于氧空位引起的自捕获激子的复合。最后给出退火对发射光谱的影响。