静电梳齿驱动微夹钳的设计、制造和测试

来源 :中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhanranran
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微夹钳是典型的微执行器,随着MEMS工艺的发展,多种类型的微夹钳相继问世。静电驱动微夹钳与压电、压阻、热、电磁等驱动方式相比,具有很多优点,例如驱动简单、响应迅速以及适应性比较好等。尤其是静电驱动与IC集成电路工艺兼容性比较好,利于机电系统的集成。本文设计的微夹钳原形,设计了一种用于胚胎注射过程中的胚胎夹持固定工作的微夹钳。该微夹钳由左、右两个操作臂组成,两臂采用对称的梳齿结构。当在两臂的固定电极和可动电极之间施加驱动电压时,由于静电作用,两操作臂同时向中间运动,夹持操作目标。由于两操作臂都为驱动端,增加了微夹钳的活动范围。
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