微电铸技术是以L,IGA/准LIGA技术为依托，以MEMS的迅猛发展为契机逐渐推广应用的。由于其具有微小结构成型、复杂结构成型、精度高和批量生产等突出优点，已经被广泛地用于微/纳
本研究研发出大小60mm*40mm快速检测甲醇微流体之整合型芯片，利用CO2 Laser制造微管道，具有速度快且设计、修改图形方便且不需进行黄光微影制程也不用复杂光罩等昂贵设备，利用4
本文结合多孔材料吸声机理，以广义Biot理论为基础，从粘滞效应和热效应两方面考虑，推导微纳孔径薄膜中孔隙动态曲折度函数表达式和微纳孔径薄膜中空气压缩率与频率间关系模型。建
卡介苗(ＢａｃｉｌｌｕｓＣａｌｍｅｔｔｅａｎｄＧｕｅｒｉｎ,ＢＣＧ)系由减牛型结核杆菌悬乳液制成的活菌苗或死菌苗。1933年传入我国,原为预防结核病,属于一种特异性免疫制剂并列为国家计划免疫。后来证明它能促进巨噬细胞吞噬功能,
光学器件超光滑表面的加工，除尺寸精度、面型精度、表面粗糙度等指标外，还要求超光滑表面的完整性。亚表面损伤作为表面内部质量的重要一环，涉及超光滑表面的完整性，严重影响高精
多晶硅薄膜在薄膜晶体管(TFT)领域具有重要应用，对于TFT，制备结晶度高、载流子迁移率大的多晶硅薄膜具有重要意义。本文采用LPCVD系统以高纯SiH4为气源，在p型4英寸晶向单晶硅衬
微型控制力矩陀螺(CMG)可以用来改变像纳米卫星等微小航天器的姿态，相比于微推进器技术，其不存在燃料耗尽的问题。美国华盛顿大学的Reiter等人提出了一种微型CMG的方案，由于输出
任正非,中国最神秘的企业家,在企业管理领域,是近乎神级人物的存在.几乎从不参与媒体活动的他,在华为内部文件上的“只言片语”都能成为科技媒体的头条新闻.人们从华为的点点
甲醛气体在工业、医药等日常生活领域被广泛应用。但甲醛气体对人体健康十分有害。在半导体甲醛气体传感器的研究中，由于薄膜型微结构传感器是以硅片为衬底，可以集成在集成电路
氮化镓(GaN)及其相关的化合物半导体材料在光电子器件以及高频高功率器件领域已经取得了成功的应用，这得益于氮化镓优良的材料性能，例如：高禁，带宽度、高电子饱和速率和高击穿电