【摘 要】
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本文通过阳极氧化的方法在近等原子比镍钛合金表面首次成功制备出大面积均匀的纳米管阵列,并通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDXA)对其表面形貌和成分进行分析.实
【机 构】
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上海交通大学 材料科学与工程学院金属基复合材料国家重点实验室,微电子材料与技术研究所,上海200240
【出 处】
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2010(第三届)中国微纳电子技术交流与学术研讨会
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本文通过阳极氧化的方法在近等原子比镍钛合金表面首次成功制备出大面积均匀的纳米管阵列,并通过扫描电子显微镜(SEM)和X射线能谱仪(EDXA)对其表面形貌和成分进行分析.实验表明阳极氧化的温度和电压是影响纳米管生长的重要因素.当阳极电压较低时(15 V),温度变化对阳极氧化结果影响不大,镍钛合金表面仅形成几十纳米厚的多孔结构.当升高阳极氧化电压至20V,在20℃阳极氧化形成的纳米结构表面是一层几十纳米厚的纳米多孔结构,下部是垂直合金表面的纳米管,形成的纳米管管径具有两种尺寸.在相同阳极氧化电压下提高温度至40℃,表面纳米多孔结构没有显著变化,纳米管直径分别由20 nm和35 nm增至30 nm和45 nm,管长基本保持不变(300 nm)；当阳极氧化温度增至50℃时,纳米管开始出现破裂,管长减至240 nm.通过表面能谱分析可得,阳极氧化后,表面Ni含量显著降低,这将有助于形状记忆合金表面氧化物纳米管阵列在生物医学材料领域的应用.
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