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采用电子增强热丝CVD法,在三种不同WC晶粒度的硬质合金衬底表面(牌号为YG6,晶粒度分别为0.5,1.5和3μm)上涂覆一层金刚石薄膜.经电子扫描电镜(SEM)、拉曼光谱分析、压痕试验等研究发现:硬质合金衬底上的WC晶粒度大小对所制备的金刚石薄膜表面粗糙度、附着力大小以及金刚石质量等均有重要影响.这对于金刚石薄膜涂层工艺参数的优化以及金刚石涂层工具的推广应用都将具有积极的意义.