【摘 要】
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介绍新型光电位置传感器PSD在二维空间点光源位置测量中的应用,点光源根据建立的坐标系,在万工显水平面上做x、y方向的位移,位移的变化使PSD的输出按一定关系变化,将两套PSD
【机 构】
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精密仪器与机械学系,清华大学(中国北京)
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介绍新型光电位置传感器PSD在二维空间点光源位置测量中的应用,点光源根据建立的坐标系,在万工显水平面上做x、y方向的位移,位移的变化使PSD的输出按一定关系变化,将两套PSD组件的4路输出送入信号调理电路,输出信号经数据采集卡(NI公司的PCI-6023E)采集,由图形化编程软件LabVIEW进行数据处理和点光源的二维位置计算.最后分析了实验存在的问题、改进措施以及PSD在应用中应注意的问题.整个二维测量系统的总误差为±3σ<,x>=±0.25mm,±3σ<,y>=±0.22mm,为以后的三维位置测量实验提供了理论和数据基础,具有相当的实用性和研究价值.
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