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介绍了MEMS国内外发展概况,及MEMS技术在集成压力传感器研制中的应用情况.结合作者在佐治亚理工学院微电子研究中心的工作,简述了在集成压力传感器研制中的MEMS CAD应用,即ANSYS仿真分析;并给出了与集成电路想兼容的敏感材料多晶硅工艺参数的正交实验优化结果.
MEMS技术在集成压力传感器中的应用
【摘 要】
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介绍了MEMS国内外发展概况,及MEMS技术在集成压力传感器研制中的应用情况.结合作者在佐治亚理工学院微电子研究中心的工作,简述了在集成压力传感器研制中的MEMS CAD应用,即AN
【机 构】
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哈尔滨传感技术研究所,一室(中国哈尔滨)GeorgiaInstituteofTechnology,ECE,MicroelectronicsResearchCenter791AtlanticDriveN
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年9期
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