【摘 要】
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本文介绍了 FZ-14-1区熔炉较 FZ-14区熔炉新增的一些特性,同时重点介绍了φ60mm-φ 105mm 区熔本征单晶的拉制工艺,并对气相掺杂和大直径一次成晶工艺探索进行了描述。
【机 构】
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天津市环欧半导体材料技术有限公司;
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本文介绍了 FZ-14-1区熔炉较 FZ-14区熔炉新增的一些特性,同时重点介绍了φ60mm-φ 105mm 区熔本征单晶的拉制工艺,并对气相掺杂和大直径一次成晶工艺探索进行了描述。
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