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工作气压对反应等离子体沉积氧化铟锡(ITO)薄膜性能的影响
【机 构】
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中科院上海微系统与信息技术研究所
【出 处】
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第八届中国太阳级硅及光伏发电研讨会
【发表日期】
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2012年期
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