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激光电化学复合微加工技术是一种将激光加工技术与电化学加工技术结合而形成的新型微细加工技术。激光冲击产生的热力效应可以去除其辐照区域内工件表面的钝化层,同时它还可以改变电极电势,提高电化学反应速率。研究了激光电化学复合微加工方法和应力刻蚀加工的机理,并通过实验对比了激光电化学复合加工与激光加工表面形貌的不同,讨论了复合加工的热力效应对加工表面材料成分的影响。