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本文SOI器件和电路性能进行了研究。文章认为，SOI技术是在体硅CMOS技术的基础上发展起来的,和体硅相比SOI有较多的优势，但同时也有它的劣势,这种劣势实际上是由其特殊的器件结构决定的。文章对SOI器件的性能进行了分析，提出了提高SOI器件和电路性能的几项重要措施。
提高SOI器件和电路性能的研究
【摘 要】
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本文SOI器件和电路性能进行了研究。文章认为，SOI技术是在体硅CMOS技术的基础上发展起来的,和体硅相比SOI有较多的优势，但同时也有它的劣势,这种劣势实际上是由其特殊的器件结
【机 构】
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中国科学院微电子研究所,北京,100029
【出 处】
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第十四届全国半导体集成电路、硅材料学术年会
【发表日期】
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2005年期
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