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该文工作在沟槽型台阶衬底上用直流磁控溅射法外延生长YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>(YBCO)超导薄膜后，制备出台阶结和射频超导量子干涉器(rfSQUID)。液氮中器件的磁通灵敏度和磁场灵敏度分别达到2.0xl0<-4> Fo/Hz<1/2>和294fT/Hz<1/2>。涂有真 空导热硅脂作保护层的器件。至今寿命己达10个月，经历了30次以上（个别器件达50次)测试过程中从液氮到室温的冷热循环。性能没有明显的变化。表现出很好的稳定 性。通过研究，解决了制备rfSQUID器件工艺过程中存在的一些问题，提高了制备器 件的可重复性，得到高性能器件的成品率达到30℅－50℅。