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介绍了微传感器近年来的发展和应用的情况，重点讨论了微传感器，特别是微加速度传感器、微压力传感器和微角速度传感器在国内外的研究情况，最后提出了微传感器发展要注意的问题。
微传感器的发展及其应用
【摘 要】
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介绍了微传感器近年来的发展和应用的情况，重点讨论了微传感器，特别是微加速度传感器、微压力传感器和微角速度传感器在国内外的研究情况，最后提出了微传感器发展要注意的问
【机 构】
：
Computer Center,Shanghai University of Engineering Science,Shanghai 200336
【出 处】
：
第20届全国计算机新科技与计算机教育学术大会
【发表日期】
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2009年期
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