【摘 要】
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利用RT66A标准铁电测试仪,系统地研究了在氮氢混合气氛中退火前后,以及氧气恢复性退火前后SrBiTaO(SBT)铁电薄膜的疲劳特性的变化.在疲劳特性测量中发现,当外加电压为6V和8V
【机 构】
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南京大学固体微结构物理国家重点实验室(南京)
【出 处】
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第四届中国功能材料及其应用学术会议
论文部分内容阅读
利用RT66A标准铁电测试仪,系统地研究了在氮氢混合气氛中退火前后,以及氧气恢复性退火前后SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>(SBT)铁电薄膜的疲劳特性的变化.在疲劳特性测量中发现,当外加电压为6V和8V时,对于经过氮氢混合气氛退火的SBT薄膜,其归一化非挥发的剩余极化dP的值会随着极化反转的次数增加而逐渐增大,而在未经氮氢混合气氛退火处理的SBT薄膜上未观察到此现象.这个结果说明,经过氮氢混合气氛退火,在SBT薄膜内部形成了大量的弱的铁电畴的钉扎中心,同时,通过在氧气中的恢复性退火实验证实了,这种钉扎中心的起源是SBT薄膜中的氧空位.
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