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Micro-Nano Gas Sensors in Environmental Monitoring

来源 :The 8th International Workshop on Innovation and Commerciali | 被引量 : 0次 | 上传用户：feifeichongwx

【摘 要】

：

　　Currently,environmental monitoring is more important in China.With the help of the MEMS and Nano techniques,commercial sensor with high performance,tiny siz

【作 者】

：

Tie Li 

【机 构】

：

ScienceandTechnologyLaboratoryonMicrosystemTechnologyatShanghaiInstituteofMicrosystemandInformationT

【出 处】

：

The 8th International Workshop on Innovation and Commerciali

【发表日期】

：

2014年11期

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论文部分内容阅读

　　Currently,environmental monitoring is more important in China.With the help of the MEMS and Nano techniques,commercial sensor with high performance,tiny size as well as low cost is coming true.In this talk,we will review our work on the gas sensor based on the fusion of MEMS and nano technology.

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