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本文详细介绍了氦质谱细检漏、氟油粗检漏的原理、方法与注意事项。
检漏方法的理解与应用
【摘 要】
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本文详细介绍了氦质谱细检漏、氟油粗检漏的原理、方法与注意事项。
【出 处】
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第八届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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