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本文采用中频反应溅射的方法，在玻璃表面沉积高折射率氧化物与低折射率氧化物材料，制备出具有一定光学性能、强附着力的薄膜。利用分光光度计对其光谱分析，并展望了中频反应溅射镀制光学薄膜的发展方向与应用前景。
中频反应溅射镀制光学薄膜的研究
【摘 要】
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本文采用中频反应溅射的方法，在玻璃表面沉积高折射率氧化物与低折射率氧化物材料，制备出具有一定光学性能、强附着力的薄膜。利用分光光度计对其光谱分析，并展望了中频反应
【机 构】
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广州市光机电技术研究院 广州510667
【出 处】
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2009年薄膜技术高峰论坛暨广东省真空学会学术年会
【发表日期】
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2009年期
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