On the mode transition in an inductively coupled discharge by different size antennas

来源 :13th Asia-Pacific Conference on Plasma Science and Technolog | 被引量 : 0次 | 上传用户:guhong_2
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  The effect on the mode transition power in spiral coil discharge was studied with different size antennas,such as number of antenna coils,interval of antenna coils.In our experiment,the results present that the transition power decreases with the interval of antenna coils increasing in the case of the interval relatively small,whether the E to H or the H to E mode transition.In addition,it of three-loop coils is much smaller than that of two-loop coils at the same height of antenna coils.All these results can be attributed to the nonlinear enhancement mechanism of electron heating in nonlocal kinetics overlapping region.
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