【摘 要】
：
氮化硅薄膜被广泛应用于硅太阳电池的减反射膜.本文对比了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中有无氢气参与情况下氮化硅薄膜的钝化效果.实验样品的傅立叶红外吸收光谱(FTIR)表明氢气参与氮化硅薄膜的沉积对薄膜的成分和结构影响不大,各特征峰位无明显变化,不同之处在于薄膜中氢的含量有所提高.微波光电导衰减仪(MWPCD)测试结果表明,在没有氢气参与沉积的情况下,直拉单晶硅的少子寿命从31μs提高到
【机 构】
：
浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027
论文部分内容阅读
氮化硅薄膜被广泛应用于硅太阳电池的减反射膜.本文对比了等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中有无氢气参与情况下氮化硅薄膜的钝化效果.实验样品的傅立叶红外吸收光谱(FTIR)表明氢气参与氮化硅薄膜的沉积对薄膜的成分和结构影响不大,各特征峰位无明显变化,不同之处在于薄膜中氢的含量有所提高.微波光电导衰减仪(MWPCD)测试结果表明,在没有氢气参与沉积的情况下,直拉单晶硅的少子寿命从31μs提高到99μs.然而在有氢气参与沉积的情况下,少子寿命从31μs提高到145μs.这说明在薄膜沉积过程中适量的氢气能够明显的提高氮化硅薄膜的钝化效果.
其他文献
本文通过改进设备用电子束蒸发在衬底温度为100℃、氧分压为5×10-2Pa工艺条件下制备ITO薄膜,并使用台阶仪、分光光度计、XRD等测试手段分析了薄膜的结构和性能,所制得ITO膜在膜厚为100nm左右时,电阻率在2.7-4.5×10-4Ω·cm之间,可见光内的透过率在90﹪左右.对比ZnO:Al(ZAO)膜和ITO膜两种透明顶电极在柔性衬底太阳电池上的应用,分析ITO透明顶电极对电池的影响及其原
本文采用磁控溅射方法结合多层膜结构制备了优质β-FeSi2薄膜.[Fe0.5nm/Si1.6nm]120多层膜经过900℃退火2小时后,样品呈现β(220)/(202)择优取向,而Fe单层膜制备的样品则无择优取向.原子力显微镜分析表明,多层膜法制备的样品表面均方根粗糙度约为16nm,约为单层膜样品的一半.根据光吸收谱测量,样品的禁带宽度为0.88eV.在40W光源照射下,多层膜法制备的样品具有大于
由于光伏发电功率具有波动性强、只输出有功功率和出力难以预报等特点,给并网型光伏电站的规划和运行带来一定的难度.本文基于羊八井并网光伏电站所处电网的实际情况,计算和分析了符合静态安全性和暂态稳定性要求的光伏最大安装容量,并且讨论了影响光伏最大安装容量的因素.
氧化铟锡(Indium-TinOxide,ITO)具有在可见光范围内高度透明的特性和优良的电学特性,通常当作透明电极,被广泛应用于太阳电池和发光元器件上.本研究中用电阻加热反应蒸发的方法制备ITO薄膜,测试了膜的厚度、电阻率、可见光透过率、载流子浓度和迁移率,讨论薄膜的厚度对薄膜光电性能的影响.将实验中制备的ITO作为nip太阳能电池透明电极,其短路电流为10.13mA/cm2,开路电压为0.79
本文利用射频磁控溅射方法,采用氧化铟锡陶瓷靶材制备了氧化铟锡透明导电薄膜.研究了衬底温度对其表面形貌和光电特性的影响.在衬底温度为200℃、纯氩气中制备的氧化铟锡薄膜电阻率为2.5×10-4Ω·cm、可见光波段(360～750nm)透过率为88.5﹪,适合用作异质结太阳电池的前电极和减反射膜.
本文主要采用超声喷雾技术制备了p型ZnO薄膜,关注了薄膜特性与衬底之间的关系.Hall测试结果显示不同衬底上ZnO薄膜的电学特性有较大差别:相对于普通玻璃衬底,Si衬底上制备薄膜的迁移率和电导率有较大的改善.另外,同n-Si衬底衬底相比,p-Si衬底上ZnO薄膜的导电类型较稳定,文中结合XRD、SEM等分析手段对其原因进行了分析.
本文通过倾斜面上太阳辐照量计算模型和太阳电池组件电学模型,对广州地区的光伏建筑一体化(BIPV)并网发电系统中,光伏阵列的朝向和倾角对并网发电系统性能的影响进行了分析和研究.结果发现:在广州地区,当光伏阵列朝向正南19°倾角时,光伏并网发电系统中有最大的年产出电能,而当阵列朝向偏离正南时,对于一定的偏离角和倾角的光伏阵列,光伏阵列在偏东南时比西南时有更大的年产出电能;在广州地区,光伏阵列朝向对阵列
a-Si/c-Si异质结太阳电池由于结合了非晶硅低温、低成本的工艺制备过程和晶体硅稳定高效的优异特性,正在受到当今光伏产业越来越多的重视.作为界面器件,晶体硅与非晶硅界面处由于晶格失配、悬挂键、能带不连续等造成界面缺陷态,增加光生载流子的复合,影响其输运过程,因而对异质结界面的钝化是获得高效电池的关键.除了采用原子/离子氢对晶体硅表面的钝化之外,通常在掺杂层和晶体硅之间插入约5nm厚的a-Si:H
近年来我国可再生能源得到了广泛应用,举世瞩目,但是可再生能源的普及教育尚远远不够,相关管理、技术人才缺乏,有关管理制度仍然跟不上,这些表明急需建立一套适合我国的可再生能源培训机制.本文就如何建立这套机制提出初步设想,包括培训的组织管理手段、培训机构建设、教师队伍建设、资金筹措以及监督评价等方面,并提出先建立过渡性培训机制,并在"十一五"期间逐步完善的思路.
在社会主义新农村建没中,能源、水源、生态环境是核心的基础建没内容,太阳能发电是农村电气化的理想方案,在我国边远无电地区新农村建没中具有特别重要的作用.本文仅就太阳能发电在新农村建设中的必要性、可能性和应用的方方面面作一个简要介绍.新农村能源建设需要太阳能发电,光伏产业的发展需要农村市场来支撑.